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硅烷 （SiH₄， 7803-62-5）
乙硅烷（Si2H6，1590-87-0）
二氯二氢硅 （ SiH₂Cl₂，4109-96-0）
三氯氢硅 （SiHCl₃，10025-78-2）
三甲基硅烷（C3H10Si，993-07-7）
四甲基硅烷（C4H12Si，75-76-3）
四氯化硅（SiCl4,10026-04-7 )
正硅酸乙酯（TEOS，）
其它硅基气体
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