分类
地区
硅基、掺杂...等电子工艺用气
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聚合硫酸铁 (35139-28-7)--脱色、除磷
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聚合氯化铝； 碱式氯化铝（1327-41-9)
聚合氯化铝铁
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三氯化硼
其它气体
其它
叔十二烷基硫醇（25103-58-6）
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机械用助剂
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磷化氢（PH₃，7803-51-2）
砷化氢（AsH₃，7784-42-1）
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一氧化二氮（N₂O，10024-97-2）
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