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日立分析仪器(上海)有限公司

  分析仪器,热分析仪器,粘弹性测定仪器,发光分光分析仪器(ICP),X射线荧光分...

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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
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最后更新: 2019-01-15 09:20
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详细信息
  • 型号:SU7000
  • 分辨率:2000000
  • 放大倍率:20~2,000,000 x
  • 加速电压(KV):0.1~30 (步进:0.01 kV)
  • 样品台尺寸(mm ):最大直径:φ200 mm, 最大高度:80 mm
  • 探测电流:
 
项目 内容
图像分辨率 二次电子分辨率 0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率 20~2,000,000 x
电子枪 发射体 ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
加速电压 0.1~30 kV (步进:0.01 kV)
束流 最大200 nA
探测器 标准探测器 UD (上探测器)
MD (中探测器)
LD (下探测器)
选配探测器*1 PD-BSED (半导体式背散射电子探测器)
UVD(高灵敏度低真空探测器 )
低真空模式*1 样品仓压力范围 5~300 Pa
可使用探测器 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
马达台 马达台控制 5轴马达驱动
移动范围 X 0~135 mm
Y 0~100 mm
Z(WD) 1.5~40 mm
T(倾斜角) -5~70°
R(旋转角) 360°
样品尺寸 最大直径:φ200 mm, 最大高度:80 mm
显示器*1 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持双屏
图像显示模式 全屏显示模式 1,280×960像素显示
单屏显示模式 800×600像素显示
双屏显示模式 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2
四屏显示模式 640×480像素显示
六屏显示模式*2 640×480像素显示 *2
图像数据保存 保存图像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
选配附件 能谱仪(EDX)
X射线波谱仪(WDX)
电子背散射衍射(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
冷冻传输系统
各种功能样品台

核心理念

  1. 采用优异的成像技术
    SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。
  2. 采用多通道成像技术
    随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。
  3. 支持不同形状样品、多种观察方法
    ・大型样品观察
    ・低真空观察
    ・超低温观察
    ・实时观察
    等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。
  4. 支持微纳解析
    采用肖特基发射电子枪,最大束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。

成像能力

追求信息最大化的检测系统

随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。

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